投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目

项目时间：2021年6月

项目地点：北京经济技术开发区0606街区YZ00-0606-0024地块

项目规模：建筑面积109930.89平方米（单体最大面积58400平方米，最大单跨跨度16.8米）